晶體生長工藝設備
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晶體生長工藝設備
產品名稱:VGF晶體生長系統
用途:主要用于半導體材料(砷化鎵、磷化銦)的晶體生長。 瀏覽次數:3073 |
詳細介紹
爐體結構: 立式管狀;
適用尺寸: 2”--6”;
加熱體溫區數: 6段;
顯示及監控段數: 6點控溫,多點監控;
控制方式: 儀表控制或微機控制;
爐體最高工作溫度: 高溫區1280℃;
溫度控制精度: 優于0.2℃;
儀表顯示精度: 0.1℃;
更詳細的參數歡迎來電垂詢!
上一個產品:多晶生長/合成爐
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