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稀有金屬材料設備
稀有金屬材料設備
產品名稱:
快速熱處理設備
用途:
用于半導體材料、LED器件快速熱處理工藝(退火、合金等)。
瀏覽次數:
2761
詳細介紹
◆主要技術指標◆
高溫恒溫區:150mm~350mm;
溫度均勻性:1100℃±1℃;
壓力范圍:5.0×10-3Pa~常壓
工藝石英管規格:Φ80mm~Φ260mm;
石英管內可通H2、Ar等氣體
溫度、恒溫區、工藝管規格等均可根據客戶要求定做。
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